激光全息測微儀（0.01um分辨率）LGH系列測頭542-711，542-712
542系列-0.00001mm分辨率型
這類精度的測頭分辨率可達(dá)0.0001mm，小型化設(shè)計使其易于安裝在狹小的空間內(nèi)，LaserHologage采用了特有的Laser Hologage作為長度標(biāo)準(zhǔn)，確保了測量精度和重復(fù)精度，(參見第3頁關(guān)于hologram的詳細(xì)說明)。也可選用專用的EF計數(shù)器。
特點(diǎn):
1.三豐公司的激光全息光柵式測微儀是一種數(shù)顯測量系統(tǒng)，采用激光衍射測長原理，進(jìn)行高精度和高重復(fù)精度測量。
2.緊湊型測微儀降低了每個裝置組裝激光光柵尺所需的成本。該測微儀也有助于縮小整個系統(tǒng)的尺寸。本測微儀是測量儀器或控制裝置長度測量傳感器，也是高精密部件測量的好選擇。
3.具有 0.1μm 的分辨力適于進(jìn)行高精度測量。
4.具有測量穩(wěn)定性——高防護(hù)性設(shè)計，適于在惡劣的環(huán)境下工作，如溫度和氣壓變化的環(huán)境。
5.低測力型 ( LGH-1010C ) 可用于易變形的精密工件。
6.測桿導(dǎo)軌使用高精度線性滾珠軸承以獲得非常平滑的運(yùn)動效果和超長耐用性。
技術(shù)參數(shù)：
精度: 參見性能參數(shù) ( 不包括量化偏差 )
分辨率: 0.1μm
長度基準(zhǔn): 激光全息測量傳感器
反應(yīng)速度: 250mm/s
測針: R1.5mm硬質(zhì)合金
軸套: ?15mm
軸承類型: 高精度線性滾珠軸承
測力: 參見性能參數(shù)
輸出信號: 90度相位差，差動方形波 ( RS-422A 等效 )
信號間距: 0.25μm
性能參數(shù):
貨號 | 542-711-1 | 542-712-1 | |
測量范圍 | 10mm | ||
分辨力 | 0.1μm | ||
測量精度 ( 20oC ) | 0.2μm | ||
重復(fù)精度 ( 2 ) | 0.02μm | ||
回程誤差 | 0.05μm | ||
測力 | 測桿朝上 | 約 0.35N 以下 | 約 0.1N |
測桿水平 | 約 0.45N 以下 | — | |
測桿朝下 | 約 0.55N 以下 | — | |
輸出信號 | 0.25μm, 90o 相位差 , 雙相位正弦波 | ||
長度基準(zhǔn) | 激光全息測量傳感器 | ||
響應(yīng)速度 | 250mm/s | ||
重量 | 200g ( 不包括電纜) | ||
塵 / 水防護(hù)等級 | — | ||
測頭 | ?3mm 硬質(zhì)合金 ( 固定螺絲 : M2.5 ( P=0.45 ) x 5 ) , 標(biāo)準(zhǔn)測頭 No.901312 | ||
裝夾套筒 | ?15mm | ||
軸承類型 | 線性滾珠軸承 | ||
輸出電纜長度 | 2m | ||
連接器 | 插頭 : RM12BPE-6PH ( HIROSE ) , 兼容插座 : RM12BRD-6S ( HIROSE) | ||
運(yùn)行溫度 ( 濕度 ) 范圍 | 10 - 30oC ( RH 30 - 70%, 無冷凝) | ||
存儲溫度 ( 濕度 ) 范圍 | –10 - 50oC ( RH 30 - 70%, 無冷凝 ) 打開包裝后存放的溫度和濕度條件與操作時的條件相同 | ||
標(biāo)準(zhǔn)附件 | 測頭專用扳手 : No.538610 | ||
訂貨信息：
測量范圍 | 貨號 | 分辨率 | 精度 | 測力* | 軸套直徑 | 備注 |
10mm(.4") | 542-711-1 | 0.1μm | 0.2μm | 0.55N/0.45N/0.35N | 15mm | — |
10mm(.4") | 542-712-1 | 0.1μm | 0.2μm | 0.1N/—/— | 15mm | 低測力 |
*測微計方向：朝上／水平／朝下 | ||||||
產(chǎn)品尺寸圖：
單位：mm
