激光全息測(cè)微儀（0.01um分辨率）LGH系列測(cè)頭542-711，542-712
542系列-0.00001mm分辨率型
這類精度的測(cè)頭分辨率可達(dá)0.0001mm，小型化設(shè)計(jì)使其易于安裝在狹小的空間內(nèi)，LaserHologage采用了特有的Laser Hologage作為長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)，確保了測(cè)量精度和重復(fù)精度，(參見第3頁(yè)關(guān)于hologram的詳細(xì)說(shuō)明)。也可選用專用的EF計(jì)數(shù)器。
特點(diǎn):
1.三豐公司的激光全息光柵式測(cè)微儀是一種數(shù)顯測(cè)量系統(tǒng)，采用激光衍射測(cè)長(zhǎng)原理，進(jìn)行高精度和高重復(fù)精度測(cè)量。
2.緊湊型測(cè)微儀降低了每個(gè)裝置組裝激光光柵尺所需的成本。該測(cè)微儀也有助于縮小整個(gè)系統(tǒng)的尺寸。本測(cè)微儀是測(cè)量?jī)x器或控制裝置長(zhǎng)度測(cè)量傳感器，也是高精密部件測(cè)量的好選擇。
3.具有 0.1μm 的分辨力適于進(jìn)行高精度測(cè)量。
4.具有測(cè)量穩(wěn)定性——高防護(hù)性設(shè)計(jì)，適于在惡劣的環(huán)境下工作，如溫度和氣壓變化的環(huán)境。
5.低測(cè)力型 ( LGH-1010C ) 可用于易變形的精密工件。
6.測(cè)桿導(dǎo)軌使用高精度線性滾珠軸承以獲得非常平滑的運(yùn)動(dòng)效果和超長(zhǎng)耐用性。
技術(shù)參數(shù)：
精度: 參見性能參數(shù) ( 不包括量化偏差 )
分辨率: 0.1μm
長(zhǎng)度基準(zhǔn): 激光全息測(cè)量傳感器
反應(yīng)速度: 250mm/s
測(cè)針: R1.5mm硬質(zhì)合金
軸套: ?15mm
軸承類型: 高精度線性滾珠軸承
測(cè)力: 參見性能參數(shù)
輸出信號(hào): 90度相位差，差動(dòng)方形波 ( RS-422A 等效 )
信號(hào)間距: 0.25μm
性能參數(shù):
貨號(hào) | 542-711-1 | 542-712-1 | |
測(cè)量范圍 | 10mm | ||
分辨力 | 0.1μm | ||
測(cè)量精度 ( 20oC ) | 0.2μm | ||
重復(fù)精度 ( 2 ) | 0.02μm | ||
回程誤差 | 0.05μm | ||
測(cè)力 | 測(cè)桿朝上 | 約 0.35N 以下 | 約 0.1N |
測(cè)桿水平 | 約 0.45N 以下 | — | |
測(cè)桿朝下 | 約 0.55N 以下 | — | |
輸出信號(hào) | 0.25μm, 90o 相位差 , 雙相位正弦波 | ||
長(zhǎng)度基準(zhǔn) | 激光全息測(cè)量傳感器 | ||
響應(yīng)速度 | 250mm/s | ||
重量 | 200g ( 不包括電纜) | ||
塵 / 水防護(hù)等級(jí) | — | ||
測(cè)頭 | ?3mm 硬質(zhì)合金 ( 固定螺絲 : M2.5 ( P=0.45 ) x 5 ) , 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭 No.901312 | ||
裝夾套筒 | ?15mm | ||
軸承類型 | 線性滾珠軸承 | ||
輸出電纜長(zhǎng)度 | 2m | ||
連接器 | 插頭 : RM12BPE-6PH ( HIROSE ) , 兼容插座 : RM12BRD-6S ( HIROSE) | ||
運(yùn)行溫度 ( 濕度 ) 范圍 | 10 - 30oC ( RH 30 - 70%, 無(wú)冷凝) | ||
存儲(chǔ)溫度 ( 濕度 ) 范圍 | –10 - 50oC ( RH 30 - 70%, 無(wú)冷凝 ) 打開包裝后存放的溫度和濕度條件與操作時(shí)的條件相同 | ||
標(biāo)準(zhǔn)附件 | 測(cè)頭專用扳手 : No.538610 | ||
訂貨信息：
測(cè)量范圍 | 貨號(hào) | 分辨率 | 精度 | 測(cè)力* | 軸套直徑 | 備注 |
10mm(.4") | 542-711-1 | 0.1μm | 0.2μm | 0.55N/0.45N/0.35N | 15mm | — |
10mm(.4") | 542-712-1 | 0.1μm | 0.2μm | 0.1N/—/— | 15mm | 低測(cè)力 |
*測(cè)微計(jì)方向：朝上／水平／朝下 | ||||||
產(chǎn)品尺寸圖：
單位：mm
